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潔凈室的氣流流動分析

更新時間:2016-08-18   點擊次數(shù):3106次

潔凈室氣流之流動
潔凈室的潔凈度往往受到氣流的影響,換言之,即人、機器隔間、建筑結構等所產

生的塵埃之移動、擴散受到氣流的支配。

潔凈室系利用HEPA、ULPA過濾空氣,其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多,因

此經過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而潔凈室內除了人以外,尚有機器等

之發(fā)塵源,這些發(fā)生的塵埃一旦擴散,即無法保持潔凈空間,因此必須利用氣流將

發(fā)生的塵埃迅速排出室外。

潔凈室內的氣流是左右潔凈室性能的重要因素,一般潔凈室的氣流速度是選

0.25~0.5m/s之間,此氣流速度屬微風區(qū)域,易受人、機器等的動作而干擾趨于混

亂、雖提高風速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風速的提高,將影響運

轉成本的增加,所以應在滿足要求的潔凈度水準之時,能以zui適當?shù)娘L速供應,以

達到適當?shù)娘L速供應以達到經濟性效果。
 

另一方面欲達到潔凈室潔凈度之穩(wěn)定效果,均一氣流之保持亦為一重要因素,均一

氣流若無法保持,表示風速有異,特別是在壁面,氣流會延著壁面發(fā)生渦流作用,

此時要實現(xiàn)高潔凈度事實上很困難。
 

垂直層流式方向要保持均一氣流必須:(a)吹出面的風速不可有速度上的差異;(b)

地板回風板吸入面之風速不可有速度上的差異。速度過低或過高(0.2m/s,0.7m/s)

均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生,而0.5m/s之速度,氣流則較均一,目前一般潔凈室,其風速

均取在0.25~0.5m/s之間。

影響潔凈室的氣流因素很多,如制程設備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等,同

時對于生產設備上方氣流的分流點,亦應列入考慮因素。
 

一般操作臺或生產設備等表面的氣流分流點,應設于潔凈室空間與隔墻板間距2/3

之處,如此可使作業(yè)人員工作時,氣流可從制程區(qū)內部流向作業(yè)區(qū),而將微塵帶

走;若分流點配置在制程區(qū)前方,將成為不當?shù)臍饬鞣至?,此時大部份的氣流將流

至制程區(qū)之后,作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設備后面,工作臺因而將受到污

染,良率也勢必降低。
 

潔凈室內的工作桌等障礙物,在相接處均會有渦流現(xiàn)象發(fā)生,相對地在其附近之潔

凈度將會較差,在工作桌面鉆上回風孔,將使渦流現(xiàn)象減少zui低;組裝材料之選擇

是否恰當、設備布局是否完善,亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素

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